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磨削中精密測量技術(shù)
精密測量技術(shù)是精密加工發(fā)展的基礎(chǔ)和先決條件之一，這已被生產(chǎn)發(fā)展的歷史所證實。從生產(chǎn)發(fā)展的歷史來看，精密加工精度的提高總是與精密測量技術(shù)的發(fā)展水平相關(guān)的。由于有丫干分尺類量具，J能使加工精度達(dá)到0.1mm；有了測微比較儀，才能使加工精度達(dá)到1ym左右；有了囚度儀，才能使加：r精度達(dá)到o．1Pm；有了激光十涉儀，才能使加工精度達(dá)到o．1一o．olflm：N前，國際上精密工藝的加工精度已能穩(wěn)定地達(dá)到lym，正在向著穩(wěn)定精度為o．1一o．017‘n、的加上水平發(fā)展，表面租糙度的測量則向o．o01ym(1nm)水平發(fā)展，納米技術(shù)正在形成新的技術(shù)熱點，而材料、精密加上、精密測員與控制已經(jīng)成為現(xiàn)代精密工程(包括宇航)的三大支柱。對于科學(xué)技術(shù)來說，測量與按制是促進(jìn)其發(fā)展的關(guān)鍵原因，測量的精度和效率在一定程度上決定著國家科學(xué)技術(shù)的水平。
目前，在機(jī)械工業(yè)研究領(lǐng)域，尤其是精密超精密研究領(lǐng)域，精密測量方法與儀器已成為科學(xué)研究中的最重要手段，例如研究鏡面磨削工藝參數(shù)對加上誤差的影響，研究精密表面的瘴擦磨損，特別是在要求晶格無畸變的硅片的超精密研磨中，平面度的測量要求達(dá)到5M．粗糙度測量要求達(dá)到0.1nm。如沒有高精度測量儀器，是不可能實現(xiàn)的。在電子、計算機(jī)、航空等工業(yè)部門，精密測量技術(shù)也被提到從未有過的高度。例如，制造超大規(guī)模集成電路，要求在1mm’的面積上：就集成looo個以上品體管，線條寬度僅在lf4m左右，尺寸誤差為0.1ym；在制造掩模原版的圖形發(fā)生器巾，其定位精度要求達(dá)到o．1flm。所以要研究這種集成電路的裝備，必須有測量用的高精度測量和定位系統(tǒng)。此外，在高純度單晶砍的品格參數(shù)測量、在納米表面制造以及對生物細(xì)胞、空氣污染微粒、石油纖維等基礎(chǔ)研究中，也無不需要精密測量技術(shù)。
文章整理：砂輪 http://aezeo.cn/news.asp?SortID=2
目前，在機(jī)械工業(yè)研究領(lǐng)域，尤其是精密超精密研究領(lǐng)域，精密測量方法與儀器已成為科學(xué)研究中的最重要手段，例如研究鏡面磨削工藝參數(shù)對加上誤差的影響，研究精密表面的瘴擦磨損，特別是在要求晶格無畸變的硅片的超精密研磨中，平面度的測量要求達(dá)到5M．粗糙度測量要求達(dá)到0.1nm。如沒有高精度測量儀器，是不可能實現(xiàn)的。在電子、計算機(jī)、航空等工業(yè)部門，精密測量技術(shù)也被提到從未有過的高度。例如，制造超大規(guī)模集成電路，要求在1mm’的面積上：就集成looo個以上品體管，線條寬度僅在lf4m左右，尺寸誤差為0.1ym；在制造掩模原版的圖形發(fā)生器巾，其定位精度要求達(dá)到o．1flm。所以要研究這種集成電路的裝備，必須有測量用的高精度測量和定位系統(tǒng)。此外，在高純度單晶砍的品格參數(shù)測量、在納米表面制造以及對生物細(xì)胞、空氣污染微粒、石油纖維等基礎(chǔ)研究中，也無不需要精密測量技術(shù)。
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